真空管式爐是一種在真空或保護氣氛環(huán)境下對材料進行加熱處理的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導體、新能源、新材料研發(fā)、金屬燒結(jié)等領(lǐng)域。其選購需綜合考慮技術(shù)參數(shù)、性能穩(wěn)定性、安全性及性價比等多方面因素。以下從核心部件、功能需求、安全性能等角度，詳細闡述真空管式爐的選購要求。
一、爐體結(jié)構(gòu)與材質(zhì)
1. 管徑與長度
- 根據(jù)樣品尺寸選擇爐管直徑(常見規(guī)格為φ20-φ100mm)，需預(yù)留至少20%的空間余量以便于裝料和氣體流動。
- 加熱區(qū)長度應(yīng)覆蓋樣品加熱需求，常規(guī)型號為200-600mm，特殊需求可定制。
2. 爐管材質(zhì)
- 石英管：耐高溫(最高1100℃)、透光性好，適用于無腐蝕性氣氛(如真空、惰性氣體)，但脆性大，熱震穩(wěn)定性差。
- 剛玉管(氧化鋁)：耐溫更高(可達1600℃)，抗熱震性強，適合活潑金屬或腐蝕性氣氛，但長期使用易析晶變形。
- 不銹鋼管：適用于低溫(<1000℃)或含氫氣氛，成本低但耐高溫和腐蝕性較差。
3. 加熱元件
- 電阻絲加熱(如鉬絲、硅鉬棒)：適用于中高溫(<1700℃)，控溫精度高，但鉬絲在氫氣中易脆化。
- 感應(yīng)加熱：升溫速度快，適合高溫短時工藝，但設(shè)備成本高。
- 紅外輻射加熱：無接觸污染，但溫度均勻性較差，需配合反射罩設(shè)計。
二、真空系統(tǒng)與氣氛控制
1. 真空度要求
- 基礎(chǔ)型：機械泵+分子泵組合，真空度可達10?³~10?? Pa，滿足大多數(shù)材料燒結(jié)需求。
- 高真空型：需配置渦輪分子泵或離子泵，真空度達10??~10?? Pa，適用于半導體外延生長等高精度工藝。
2. 氣氛兼容性
- 明確工藝所需的氣氛類型(如Ar、N?、H?、混合氣)，選擇對應(yīng)的密封結(jié)構(gòu)和進氣系統(tǒng)。
- 若涉及腐蝕性氣體(如Cl?、NH?)，需采用耐腐蝕材質(zhì)(如石英內(nèi)襯+不銹鋼外腔)并配置尾氣處理裝置。
3. 氣路控制
- 質(zhì)量流量控制器(MFC)可實現(xiàn)精準氣流調(diào)節(jié)，適合多路氣體混合或動態(tài)切換場景。
- 安全泄壓閥和壓力傳感器，防止超壓爆炸風險。
三、溫度控制與均勻性
1. 控溫方式
- PID智能控溫：通過熱電偶(K型、S型)反饋實時溫度，控溫精度±1~2℃，適合大多數(shù)實驗。
- 多段程序控溫：支持30段以上升溫/保溫/降溫曲線編程，滿足復雜工藝需求(如梯度燒結(jié))。
- 紅外測溫或光學高溫計：非接觸式測溫，適用于高溫或腐蝕性環(huán)境，但成本較高。
2. 溫度均勻性
- 加熱區(qū)溫差需控制在±5℃以內(nèi)，可通過雙層加熱體、均熱風道或旋轉(zhuǎn)爐管設(shè)計實現(xiàn)。
- 定期校準熱電偶位置，避免因熱偶偏移導致測溫誤差。
四、安全性能與輔助功能
1. 安全防護
- 超溫保護：獨立溫控儀監(jiān)測爐溫，觸發(fā)后自動斷電。
- 真空失效保護：當真空度低于設(shè)定值時，自動充入保護氣體并停機。
- 防爆設(shè)計：爐體需配備泄爆口或防爆膜，防止氣體瞬間膨脹引發(fā)爆炸。
2. 觀察與操作便利性
- 石英觀察窗：便于實時觀察樣品狀態(tài)，需防高溫輻射鍍膜處理。
- 觸摸屏+人機界面(HMI)：簡化參數(shù)設(shè)置與程序存儲，支持遠程控制。
3 數(shù)據(jù)記錄與導出
- 內(nèi)置記錄儀或USB接口，可實時記錄溫度、壓力、流量等數(shù)據(jù)，便于后續(xù)分析。
五、供應(yīng)商資質(zhì)與售后服務(wù)
1. 品牌與案例
- 優(yōu)先選擇具備行業(yè)經(jīng)驗的品牌(如Carbolite、Thermal Technology、合肥科晶等)，考察其同類產(chǎn)品的用戶口碑。
- 要求提供成功案例報告，尤其是類似工藝場景的應(yīng)用實例。
2. 定制能力
- 特殊需求(如超高溫、大尺寸爐管、快速冷卻)需評估供應(yīng)商的非標設(shè)計能力。
- 確認交貨周期與保修期(通常為核心部件1年保)。
3. 售后支持
- 是否提供安裝培訓、工藝調(diào)試指導及終身維護服務(wù)。
- 備件供應(yīng)周期與價格需明確，避免后期使用成本過高。
